SU-8: Difference between revisions

Latest revision as of 19:12, 19 November 2016

SU-8 ist ein Negativresist.

SU-8 besteht aus einem Epoxidharz, Lösungmittel und Photoinitiator. Durch Belichtung und Post-bake ensteht ein hochvernetzter Duroplast.

Das verwendete Harz basiert auf Bisphenol-A.

mr-X: Weiterentwicklung der Fa. micro resist technology zur Herstellung hoher Aspektverhältnisse.

Umfangreiche Zusammenstellung der Eigenschaften von SU-8: MEMScyclopedia SU-8

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+SU-8 besteht aus einem Epoxidharz, Lösungmittel und Photoinitiator. Durch Belichtung und Post-bake ensteht ein hochvernetzter Duroplast.
-=Alternativen=
+Das verwendete Harz basiert auf Bisphenol-A.
+=== Gefahreneinstufung ===
+== Am IMT ==
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 * [[mr-X]]: Weiterentwicklung der Fa. micro resist technology zur Herstellung hoher Aspektverhältnisse.
+== Links ==
-[[Kategorie:Negativresist - negative resist]]
+Umfangreiche Zusammenstellung der Eigenschaften von SU-8:
+[http://memscyclopedia.org/su8.html MEMScyclopedia SU-8]
+[[Category:Negativresist - negative resist]]
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