Mr-X

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Eigenschaft	Wert
Dichte	kg/l
Feststoffgehalt	%
Brechzahl

mr-X

mr-X (vorher: mr-L) ist ein Negativresist. Er ist eine SU-8-basierte Weiterentwicklung der Fa. micro resist technology zur Herstellung sehr hoher Aspektverhältnisse durch (Röntgentiefen-)Lithografie.

Eigenschaften

- z.B. Chemische Zusammensetzung, wie liegt es üblicherweise vor, evtl. Preis, kurz- alles was euch sinnvoll und wichtig erscheint, auch mit Unterüberschriften

Am IMT

Verfügbarkeit

• mr-X10: Schichtdicken bis ca. 40 µm
• mr-X50: Schichtdicken bis ca. 300 µm

Geräte

• für die Belackung:
  • Spincoater
• für die Röntgenlithografie:
  • Litho 1
  • Litho 2
  • Litho 3
• Galvanikbäder

Prozesse

• LIGA
  • Röntgengitter
  • Röntgenlinsen

Ansprechpartner

• Danays Kunka
• Frieder Koch
• Alexandra Karbacher
• Pascal Meyer
• Jan Meiser
• Felix Marschall
• Heike Fornasier

Alternativen

• SU-8