SU-8: Difference between revisions
From IMT-Wiki
Jump to navigationJump to search
Frieder.Koch (talk | contribs) mNo edit summary |
No edit summary |
||
| (One intermediate revision by one other user not shown) | |||
| Line 20: | Line 20: | ||
== Eigenschaften == |
== Eigenschaften == |
||
SU-8 besteht aus einem Epoxidharz, Lösungmittel und Photoinitiator. Durch Belichtung und Post-bake ensteht ein hochvernetzter Duroplast. |
|||
- z.B. Chemische Zusammensetzung, wie liegt es üblicherweise vor, evtl. Preis, kurz- alles was euch sinnvoll und wichtig erscheint, auch mit Unterüberschriften |
|||
Das verwendete Harz basiert auf Bisphenol-A. |
|||
=== Gefahreneinstufung === |
=== Gefahreneinstufung === |
||
| Line 43: | Line 45: | ||
[http://memscyclopedia.org/su8.html MEMScyclopedia SU-8] |
[http://memscyclopedia.org/su8.html MEMScyclopedia SU-8] |
||
[[ |
[[Category:Negativresist - negative resist]] |
||
[[ |
[[Category:Materialien - Materials]] |
||
Latest revision as of 19:12, 19 November 2016
| Eigenschaft | Wert |
|---|---|
| Dichte | |
SU-8
SU-8 ist ein Negativresist.
Eigenschaften
SU-8 besteht aus einem Epoxidharz, Lösungmittel und Photoinitiator. Durch Belichtung und Post-bake ensteht ein hochvernetzter Duroplast.
Das verwendete Harz basiert auf Bisphenol-A.
Gefahreneinstufung
Am IMT
Verfügbarkeit
Geräte
Prozesse
Ansprechpartner
Alternativen
- mr-X: Weiterentwicklung der Fa. micro resist technology zur Herstellung hoher Aspektverhältnisse.
Links
Umfangreiche Zusammenstellung der Eigenschaften von SU-8: MEMScyclopedia SU-8
