Category:Positivresist - positive resist: Difference between revisions
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Latest revision as of 19:11, 19 November 2016
Positivresiste sind neben den Negativresisten eine Untergruppe der Resiste.
Bei Belichtung werden die Polymerketten aufgebrochen, der Resist wird löslich. Im folgenden Entwicklungsschritt werden so die belichteten Bereiche herausgelöst.
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