Aspektverhältnis - aspect ratio: Difference between revisions
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[1] Kenntner, Johannes. Herstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhältnis 100 für die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer. Dissertation, KIT Scientific Publishing 2012 |
[1] Kenntner, Johannes. Herstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhältnis 100 für die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer. Dissertation, KIT Scientific Publishing 2012 |
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Latest revision as of 19:12, 19 November 2016
Als Aspektverhältnis wird das Verhältnis von Strukturhöhe zu Strukturbreite bezeichnet.
Mit dem LIGA-Verfahren wurden am IMT Aspektverhältnisse von 100 erreicht.
Quellen
[1] Kenntner, Johannes. Herstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhältnis 100 für die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer. Dissertation, KIT Scientific Publishing 2012
