Aspektverhältnis - aspect ratio

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Als Aspektverhältnis wird das Verhältnis von Strukturhöhe zu Strukturbreite bezeichnet.

Mit dem LIGA-Verfahren wurden am IMT Aspektverhältnisse von 100 erreicht.

Quellen

[1] Kenntner, Johannes. Herstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhältnis 100 für die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer. Dissertation, KIT Scientific Publishing 2012