SU-8: Difference between revisions
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Revision as of 16:11, 6 March 2014
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SU-8
SU-8 ist ein Negativresist.
Eigenschaften
- z.B. Chemische Zusammensetzung, wie liegt es üblicherweise vor, evtl. Preis, kurz- alles was euch sinnvoll und wichtig erscheint, auch mit Unterüberschriften
Gefahreneinstufung
Am IMT
Verfügbarkeit
Geräte
Prozesse
Ansprechpartner
Alternativen
- mr-X: Weiterentwicklung der Fa. micro resist technology zur Herstellung hoher Aspektverhältnisse.
Links
Umfangreiche Zusammenstellung der Eigenschaften von SU-8: MEMScyclopedia SU-8
Kategorie:Negativresist - negative resist Kategorie:Materialien - Materials
