Karlsruhe Nano Micro Facility: Difference between revisions
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Revision as of 13:02, 24 March 2013
Die Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) ist eine Plattform, die Standardtechnolgien für die Charakterisierung und Strukturierung im Mikro- und Nanomaßstab zur Verfügung stellt. Sie wurde im Oktober 2008 vom KIT gegründet und wird durch die Helmholtz Gemeinschaft (HGF) finanziert.
Prinzip: Für die Bearbeitung von Aufträgen aus Industrie und Forschung werden Großgeräte und Technolgien finanziert.
- Zielgruppen: Partner aus Industrie und Forschung, sowohl national als auch international
- Ablauf: Einreichen von Anträgen für Forschungsvorhaben
- 2 Deadlines pro Jahr: 15. Januar und 30. Juni
- Weiterer Ablauf:
- Bewertung der Anträge durch ein Komitee: Entscheidung, ob Anfrage bearbeitet wird
Folgende Geräte und Technologien des KIT gehören zur KNMF: Liste der Geräte und Technolgien
KNMF-Geräte am IMT
- E-Beam
- ANKA Litho1 - 3 für die Röntgentiefenlithographie
- RIE/RIBE Oxford PlasmaLab 100
- Laserschreiber
- Heißprägen
