Karlsruhe Nano Micro Facility

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Die Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) ist eine Plattform für Hochtechnologien zur Strukturierung und Charakterisierung einer Vielzahl (funktioneller) Materialien im Mikro- und Nanometermaßstab. Sie wurde im Oktober 2008 vom KIT gegründet und wird als Forschungsinfrastruktur der Helmholtz Gemeinschaft (HGF) betrieben.

Prinzip: Für die Bearbeitung von Aufträgen aus Industrie und Forschung werden Großgeräte und Technolgien finanziert.

• Zielgruppen: Partner aus Industrie und Forschung, sowohl national als auch international
• Ablauf: Einreichen von Anträgen für Forschungsvorhaben
• 2 Einreichefristen pro Jahr: 15. Januar und 30. Juni (dringende oder kommerzielle Anfragen können zu jeder Zeit eingereicht werden)
• Weiterer Ablauf:
  • Bewertung der Anträge durch ein Komitee: Entscheidung, ob Anfrage bearbeitet wird

Folgende Geräte und Technologien des KIT gehören zur KNMF: Liste der Geräte und Technolgien

KNMF-Geräte am IMT

• E-Beam
• ANKA Litho 1-3 für die Röntgentiefenlithographie
• RIE/RIBE Oxford PlasmaLab 100
• Laserschreiber
• Heißprägen

Ansprechpartner

• Jürgen Mohr (bei der KNMF) bzw. (im IMT)
• Klaus Bade
• Martin Börner
• Stefan Hengsbach
• Dieter Maas

Links

• Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
• Forschungsinfrastrukturen der HGF