AA201 Dokumentenmanagement-Datenschutz und Datensicherung: Difference between revisions
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http://www.dsb.kit.edu/200.php |
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===Datensicherung=== |
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Um einen selbstständigen Zugang (Betriebsausweis freigeschaltet) zu erhalten, müssen folgende Voraussetzungen erfüllt sein: |
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|style="width:1%"|1.|| style="width:38%"| Die Wochenarbeitszeit im Reinraum und der gesamte Aufenthalt am IMT müssen mehr als sechs Stunden bzw. mehr als drei Monate umfassen. |
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|2.|| Der Mitarbeiter hat an einer der vierteljährlich stattfindenden, allgemeinen Sicherheitsunterweisung teilgenommen oder hat die selbstgeführte Sicherheitsunterweisung am PC absolviert (Dokumentation im Formblatt QS-Nr.: FB804.xx). |
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|3.|| Der Mitarbeiter hat an der jährlichen, arbeitsplatzbezogenen Sicherheitsunterweisung teilgenommen oder wurde im Reinraum vom Reinraumverantwortlichen geschult (Dokumentation im Formblatt QS-Nr.: FB804.xx). |
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Personen, die (ggf. noch) keinen selbständigen Zugang zum Reinraum haben, können unter Verantwortung des Betreuers oder eines von ihm beauftragten IMT-Mitarbeiters den Reinraum betreten und dort an Geräten arbeiten, an denen sie eingewiesen sind. Voraussetzung hierfür ist immer eine Unterweisung gemäß Kapitel 4.2, Pkt. 2. Für kurzfristige Arbeiten, studentische Praktika oder Ähnliches trägt immer der jeweilige Betreuer mit eigenem Reinraumzutritt die Verantwortung. Unter seiner Aufsicht können auch kurzfristige Aufgaben oder Messaufgaben in wenig gefährdeten Bereichen (z. B. Tastschnittgeräte, AFM oder REM) selbstständig durchgeführt werden. Ohne Betreuer mit eigener Zutrittsberechtigung ist ein Arbeiten im Reinraum verboten. |
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====Allgemeine Datensicherung am IMT==== |
====Allgemeine Datensicherung am IMT==== |
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Die allgemeine Datensicherung am IMT erfolgt auf dem Windows 2008 Print- und Fileserver '''IMTsrv'''. |
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Im Reinraum darf nur spezielles Reinraumpapier verwendet werden. Dieses ist im IMT-Lager vorrätig. Zulässig ist auch Normalpapier, das in Plastikfolie eingeschweißt ist. Alle schriftlichen Dokumentationen erfolgen auf Reinraumpapier und tragen den Namen des verantwortlichen Mitarbeiters und das Erstelldatum.<br> |
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Kleinere Gegenstände wie Laufkarten oder Waferboxen werden in staubfreiem Zustand über die zwischen Raum 140 und 142 installierte Materialschleuse bzw. über die Schleuse von Raum 132d in den Reinraum eingebracht. Dazu können die einzuschleusenden Teile vor der Schleuse mit Stickstoff abgeblasen werden.<br> |
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Die Kennzeichnung der Substrate erfolgt gemäß Arbeitsanweisung QS-Nr.: AA507.xx. Substrate müssen einer grünen oder blauen Laufkarte zuzuordnen sein. Wird eine Anlage längere Zeit mit einem Substrat belegt, wird die Laufkarte zum Anlagenbuch gelegt. So ist die Belegung für jedermann sicht- und nachvollziehbar. '''Substrate ohne Laufkarte dürfen jederzeit aus Anlagen entfernt werden!''' Nach Beendigung der Tätigkeit müssen Substrate aufgeräumt werden. Dazu gibt es Ablagen für die verschiedenen Prozessschritte oder der Reinraumverantwortliche weist für die verschiedenen Projekte Fächer oder Schubladen zu. Zur Verpackung von Proben dürfen nur dem Stand der Technik entsprechende Behältnisse verwendet werden. Substrate werden, bevor sie aus dem Reinraum gebracht werden, eingeschweißt.<br> |
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Größere Gegenstände wie Neuanlagen oder Geräte dürfen nur gut gereinigt, ohne Verpackungsmaterial und nur nach Absprache mit dem Reinraumverantwortlichen in den Reinraum gebracht werden. |
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====Datensicherung auf dem IMT-Dateiserver/PC-Bereich==== |
====Datensicherung auf dem IMT-Dateiserver/PC-Bereich==== |
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Auf dem Fileserver '''IMTsrv''' liegen nur temporäre Arbeitsverzeichnisse und Verzeichnisse, die für die PC-Administration benötigt werden. Alle Dateien, die sich in diesen Verzeichnissen verändert haben, werden jede Nacht auf eine Backupplatte auf demselben Server kopiert. Die Benutzerdaten liegen entweder lokal auf den PC-Platten oder auf einem zentralen Fileservercluster des Rechenzentrums SCC \\sccfs.scc.kit.edu\oe\imt. Die Netzlaufwerke des SCC sind mehrfach redundant ausgelegt, so dass ein Datenverlust praktisch ausge-schlossen werden kann. Sowohl auf den lokalen Platten als auch auf den Netzlaufwerken werden mehrere Vorversionen gespeichert, so dass man auf einfache Weise Dateien wieder herstellen kann, die vor nicht allzu langer Zeit gelöscht oder verändert wurden. Bei den Netzlaufwerken kann durch die hohe Redundanz Datenverlust durch Plattenfehler ausgeschlossen werden. Bei den lokalen Platten muss bei einem Plattenausfall jedoch ein Backup vorhanden sein, damit die Daten wieder hergestellt werden können. Die Sicherung der lokalen Dateien liegt in der Verantwortung des Benutzers/der Benutzerin. Die Sicherung kann entweder auf einer lokalen USB-Platte oder wechselweise auf zwei NAS-Backupsystemen gemacht werden. Zum Backup auf den NAS-Systemen steht eine Prozedur zur Verfügung, die alle Benutzerdateien auf der lokalen Platte auf eines der NAS-Systeme spiegelt. Nach der Beendigung des Backups wird für den nächsten Backup automatisch das andere NAS-System angewählt und anschließend der PC runtergefahren. Auf diese Weise stehen immer auch noch die Versionen zur Verfügung, die sich am Vortag geändert haben oder gelöscht wurden. |
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Für den Umgang mit Chemikalien gelten die Sicherheitsvorschriften des KIT. Die Arbeit mit Chemikalien bedarf der Kenntnis der Datenblätter, der Unfallverhütungsvorschriften, des Verhaltens im Notfall und der Bedienungsanleitungen. Speziell ist zu beachten: Beim Umgang mit Chemikalien sind geeignete Schutzhandschuhe (Vorsicht GG-Entwickler oder Aceton lösen einige Kunststoffe, wie z. B. Latex auf!) und Schutzbrille zu tragen.<br> |
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Chemikalien werden grundsätzlich nach der Gefahrstoffverordnung gekennzeichnet. Bevor neue, für den Reinraum noch nicht zugelassene Chemikalien für wissenschaftliche Arbeiten im Reinraum benötigt werden, muss vorher der Reinraumverantwortliche informiert werden. Er entscheidet über die Zulassung und das weitere Vorgehen.<br> |
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In oder an den Sicherheitsschränken liegen Listen aus, in denen die im Reinraum zugelassenen Chemikalien mit Haltbarkeitsdatum und gültiger IMT-Spezifikation erfasst sind. Weicht das in der Spezifikation festgelegte Haltbarkeitsdatum von dem auf der Flasche herstellerseits aufgedruckten Haltbarkeitsdatum ab, wird Letzteres unkenntlich gemacht und durch das Haltbarkeitsdatum gemäß gültiger IMT-Spezifikation ersetzt. Das Öffnungsdatum eines Chemikalienbehältnisses wird mit Unterschrift des Mitarbeiters auf dem jeweiligen Gebinde dokumentiert.<br> |
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Jeder Mitarbeiter ist verpflichtet, regelmäßig, mindestens aber vierteljährlich, die von ihm benutzten Chemikalien auf ihre Haltbarkeit zu überprüfen und nicht mehr verwendbare Chemikalien entsorgen zu lassen. Ansprechpartner hierfür sind der Reinraumverantwortliche und seine Mitarbeiter. Grundsätzlich müssen alle Chemikalien nach der Arbeit in die vorgesehenen Schränke oder Abzüge geräumt werden.<br> |
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Die Laborartikel und Chemikalien sind ausschließlich für den Gebrauch in den jeweiligen Reinräumen vorgesehen. Nach der Arbeit müssen Labor- und andere Gläser sorgfältig gereinigt, gespült und abgetrocknet werden. In Raum 132c und 143 stehen dafür Laborspülmaschinen bereit. Defekte oder angeschlagene Glasgeräte müssen in den Glasmüll entsorgt werden und dürfen nicht wieder in die Schränke geräumt werden. |
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====Spezifische Datensicherung==== |
====Spezifische Datensicherung==== |
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Für die Nutzung von Fertigungs- oder Prüfmitteln ist eine formlose Genehmigung und Einweisung durch den Fertigungs- oder Prüfmittelverantwortlichen erforderlich. Die Einweisung kann an geeignete Mitarbeiter delegiert werden, muss aber durch den Fertigungs- oder Prüfmittelverantwortlichen im Anlagenbuch gegengezeichnet werden.<br> |
Für die Nutzung von Fertigungs- oder Prüfmitteln ist eine formlose Genehmigung und Einweisung durch den Fertigungs- oder Prüfmittelverantwortlichen erforderlich. Die Einweisung kann an geeignete Mitarbeiter delegiert werden, muss aber durch den Fertigungs- oder Prüfmittelverantwortlichen im Anlagenbuch gegengezeichnet werden.<br> |
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Revision as of 15:49, 4 July 2017
| Arbeitsanweisung | 201 |
|---|---|
| Revision | 05 |
| Stand | 29.06.2017 |
| Bearbeiter | Klein |
Zweck
Beschreibung der Maßnahmen zu Datenschutz und Datensicherheit IMT-interner Daten und Dokumente
Anwendung
Die Maßnahmen zu Datenschutz und Datensicherheit betreffen alle IMT-Bereiche.
Begriffe und Abkürzungen
Begriffe
Abkürzungen
| AC-TI | Administration, Controlling und Personal-Technische Infrastruktur |
| CAD | Computer-Aided Design |
| CTE | Core Technologies |
| dxf | Austauschformat 2D CAD-Daten |
| FuE3-TN | FuE3-Biophotonik, Teratronische Bauteile |
| FVB | Fertigungsvorbereitung |
| gds | Datenformat für E-Beam-Design-Daten |
| gpf | Dateiformat der Schreib-Datenfiles für den E-Beam |
| IMT | Institut für Mikrostrukturtechnik |
| KIT | Karlsruher Institut für Technologie |
| NAS | Network Attached Storage (Fileserver) |
| SCC | Steinbuch Centre for Computing (Rechenzentrum des KIT) |
| QB | Qualitätsbeauftragter |
| QM | Qualitätsmanagement |
| QMH | Qualitätsmanagement-Handbuch |
| QS-Nr. | Qualitätssicherungs-Nummer |
| QW | Qualitätswesen |
| tar.gz | Dateiformat der Backup-Archivdateien des E-Beam |
Beschreibung
Datenschutz
Informationen zur Handhabung des Datenschutzes im KIT erhält man unter folgendem Link:
http://www.dsb.kit.edu/200.php
Datensicherung
Allgemeine Datensicherung am IMT
Die allgemeine Datensicherung am IMT erfolgt auf dem Windows 2008 Print- und Fileserver IMTsrv.
Datensicherung auf dem IMT-Dateiserver/PC-Bereich
Auf dem Fileserver IMTsrv liegen nur temporäre Arbeitsverzeichnisse und Verzeichnisse, die für die PC-Administration benötigt werden. Alle Dateien, die sich in diesen Verzeichnissen verändert haben, werden jede Nacht auf eine Backupplatte auf demselben Server kopiert. Die Benutzerdaten liegen entweder lokal auf den PC-Platten oder auf einem zentralen Fileservercluster des Rechenzentrums SCC \\sccfs.scc.kit.edu\oe\imt. Die Netzlaufwerke des SCC sind mehrfach redundant ausgelegt, so dass ein Datenverlust praktisch ausge-schlossen werden kann. Sowohl auf den lokalen Platten als auch auf den Netzlaufwerken werden mehrere Vorversionen gespeichert, so dass man auf einfache Weise Dateien wieder herstellen kann, die vor nicht allzu langer Zeit gelöscht oder verändert wurden. Bei den Netzlaufwerken kann durch die hohe Redundanz Datenverlust durch Plattenfehler ausgeschlossen werden. Bei den lokalen Platten muss bei einem Plattenausfall jedoch ein Backup vorhanden sein, damit die Daten wieder hergestellt werden können. Die Sicherung der lokalen Dateien liegt in der Verantwortung des Benutzers/der Benutzerin. Die Sicherung kann entweder auf einer lokalen USB-Platte oder wechselweise auf zwei NAS-Backupsystemen gemacht werden. Zum Backup auf den NAS-Systemen steht eine Prozedur zur Verfügung, die alle Benutzerdateien auf der lokalen Platte auf eines der NAS-Systeme spiegelt. Nach der Beendigung des Backups wird für den nächsten Backup automatisch das andere NAS-System angewählt und anschließend der PC runtergefahren. Auf diese Weise stehen immer auch noch die Versionen zur Verfügung, die sich am Vortag geändert haben oder gelöscht wurden.
Spezifische Datensicherung
Für die Nutzung von Fertigungs- oder Prüfmitteln ist eine formlose Genehmigung und Einweisung durch den Fertigungs- oder Prüfmittelverantwortlichen erforderlich. Die Einweisung kann an geeignete Mitarbeiter delegiert werden, muss aber durch den Fertigungs- oder Prüfmittelverantwortlichen im Anlagenbuch gegengezeichnet werden.
Die längerfristige Belegung von Fertigungsmitteln muss vorher mit den Reinraumverantwortlichen abgesprochen werden. Bei der Fertigung mittels Laufkarte wird diese zum Anlagenbuch gelegt. Der Beginn und das Ende des Prozessschrittes kann im Anlagenbuch unter der Rubrik „Anlagenbelegung“ eingetragen werden!
Bei einem Defekt oder anderen Auffälligkeiten ist der Fertigungs- oder Prüfmittelverantwortliche zu verständigen. An einem gesperrten Fertigungsmittel dürfen keine Fertigungsschritte, an einem gesperrten Prüfmittel dürfen keine Prüfungen mehr durchgeführt werden (Näheres regelt die Arbeitsanweisung QS-Nr.: AA508.xx).
Arbeitsplätze und Abzüge müssen vor Beginn der Arbeiten ausreichend gegen Verschmutzung geschützt werden. Den Arbeitsplatz eventuell mit Folie oder Papiertüchern auslegen. Eindeutig kennzeichnen, wer den Arbeitsplatz benutzt (z.B. Laufkarte mit Eintrag, Notiz mit Name und Datum). Arbeitsplätze und Abzüge müssen nach Beendigung der Arbeiten wieder sorgfältig gereinigt werden.
Abfallentsorgung
Chemikalien werden in Absprache mit dem Reinraumverantwortlichen und seinen Mitarbeitern entsorgt. Für kleinere Mengen gibt es in den Reinräumen gekennzeichnete Abfallbehälter, in denen der Abfall zunächst gesammelt wird. Die endgültige Entsorgung wird durch den Reinraumverantwortlichen und seine Mitarbeiter veranlasst.
Sonstige Abfälle werden in speziellen Abfallbehältern getrennt entsorgt. Diese sind mit entsprechenden Aufschriften gekennzeichnet. Es wird unterschieden in:
- Flachglas (Flachschalen, Pipetten)
- Laborglas (Duran, Bechergläser)
- Metalle verunreinigt
- Papier und Kunststoff
- Klebstoff (auch Klebstoffreste in/auf Tüchern/Kaptonfolie etc) und Behältnisse mit Klebstoff, Spritzenkanülen (Klebstoff vor dem Entsorgen in einem Abzug aushärten lassen!)
- Siliziumwafer
Mitgeltende Unterlagen
- Formblatt 527
- Formblatt 804
- Arbeitsanweisung 507
- Arbeitsanweisung 508
- Prozess 5
- Spezifikation 590
- Sicherheitsbestimmungen des KIT
- Betriebsanweisung "Alleinarbeit/Einzelarbeitsplatz"
| keywords |
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