Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF: Difference between revisions
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Gerätebezeichnung: Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF
Geräteverantwortliche/Operateure: Jakobs, Peter, Bacher, Andreas / Nees, Marie-Kristin
Standort: Bau 301 Räume 107.8 - 107.10
Prüfmittel/Fertigungsnummer: BS 0249
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Alternativen
keine
Spezifikationen des Geräts
- Beschleunigungsspannung: 100keV
- theoretische Auflösung (nicht kleinstes schreibbares Feature!): 1nm
- kleinster Strahldurchmesser: 4nm
Etablierte Prozesse
- Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)
Einschränkungen
Eingewiesene Nutzer
Jakobs, Peter; Bacher, Andreas; Nees, Marie-Kristin
Kategorie:Geräte - Devices Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment
