Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF

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Elektronenstrahlschreiber

Gerätebezeichnung: Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF

Geräteverantwortliche/Operateure: Jakobs, Peter, Bacher, Andreas / Nees, Marie-Kristin

Standort: Bau 301 Räume 107.8 - 107.10

Fertigungmittelnummer: BS 0249

Spezifikations-Nummer: SP280310.00

Alternativen

• Laser-Lithographie-Anlage: nur für Strukturen >1 µm geeignet. Verschiedene Resiste: mr-X, AZ

Spezifikationen des Geräts

• Beschleunigungsspannung: 100keV
• theoretische Auflösung: 0,5nm (Achtung: das ist die minimale BeamStepSize - nicht kleinstes schreibbares Feature!)
• kleinster Strahldurchmesser: 4nm

Etablierte Prozesse

• Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)

Einschränkungen

• keine Substrate grösser 6"

Eingewiesene Nutzer

Jakobs, Peter; Bacher, Andreas; Nees, Marie-Kristin