Kleberoboter: Difference between revisions
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Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]]. |
Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der [[Prüfmittel_Liste_-_List_of_Measurement_Devices| Prüfmittel Liste]] oder der [[Liste der Fertigungsmittel - List of Manufacturing Equipment|Liste der Fertigungsmittel]]. |
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== Spezifikationen des Geräts == |
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(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen |
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Argon dient als Prozessgas. |
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Der Roboter wird stickstoffbetrieben. |
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== Etablierte Prozesse == |
== Etablierte Prozesse == |
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Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk). |
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Wafer, welche bisher standardmäßig beklebt wurden, sind: 4", 6" - Si-Wafer, 4" - Keramikwafer, 4" - Glaswafer |
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Folien können mit einer Schichtdicke von 100 µm bis 3mm verklebt werden. |
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Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen? |
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Standardgrößen der Resistfolien sind: 75 x 30 mm², |
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runde Folien mit Flat und einem Durchmesser von 80 mm², |
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kleinst mögliche Foliengröße: 59 x 19 mm² |
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Der Roboter wird ausschließlich für ein PMMA-Klebstoffgemisch verwendet. |
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== Eingewiesene Nutzer == |
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Personen bitte immer mit [[Benutzer:Vorname.Nachname | Nachname, Vorname]] verknüpfen. |
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Revision as of 11:35, 2 July 2013
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Gerätebezeichnung: Kleberoboter JR 2400
Geräteverantwortliche/Operateure: Birgit Hübner
Standort: Bau 307 Raum 132c
Prüfmittel/Fertigungsnummer: XXXX
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Der Kleberoboter dient zum Aufkleben von Resistfolien auf Wafer und Formeinsätze. Hierzu verwendet man einen Klebstoff aus PMMA-Lösung, BPO, MEMO und DMA (Arbeitsanweisung: AA )
Alternativen
Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der Prüfmittel Liste oder der Liste der Fertigungsmittel.
Spezifikationen des Geräts
Argon dient als Prozessgas. Der Roboter wird stickstoffbetrieben.
Etablierte Prozesse
Wafer, welche bisher standardmäßig beklebt wurden, sind: 4", 6" - Si-Wafer, 4" - Keramikwafer, 4" - Glaswafer Folien können mit einer Schichtdicke von 100 µm bis 3mm verklebt werden. Standardgrößen der Resistfolien sind: 75 x 30 mm²,
63 x 23 mm²,
runde Folien mit Flat und einem Durchmesser von 80 mm²,
kleinst mögliche Foliengröße: 59 x 19 mm²
Einschränkungen
Der Roboter wird ausschließlich für ein PMMA-Klebstoffgemisch verwendet.
Eingewiesene Nutzer
Personen bitte immer mit Nachname, Vorname verknüpfen.
Kategorie:Geräte - Devices Kategorie:Fertigungsmittel - Manufacturing Equipment
