Kleberoboter

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Gerätebezeichnung: Kleberoboter JR 2400

Geräteverantwortliche/Operateure: Birgit Hübner

Standort: Bau 307 Raum 132c

Prüfmittel/Fertigungsnummer: XXXX

Spezifikations-Nummer: SP-XXXX

Kurzbeschreibung

Der Kleberoboter ist ein Drei-Achsen-Tischroboter (Janome JR 2400) und dient zum Aufkleben von Resistfolien auf Wafer und Formeinsätze. Hierzu verwendet man einen Klebstoff aus PMMA-Lösung, BPO, MEMO und DMA (Arbeitsanweisung: AA )

Alternativen

Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der Prüfmittel Liste oder der Liste der Fertigungsmittel.

Spezifikationen des Geräts

Argon dient als Prozessgas. Der Roboter wird mit Stickstoff betrieben.

Etablierte Prozesse

Wafer, welche bisher standardmäßig beklebt wurden, sind:

• 4", 6" - Si-Wafer

• 4" - Keramikwafer

• 4" - Glaswafer

Folien können mit einer Schichtdicke von 100 µm bis 3mm verklebt werden.

Standardgrößen der Resistfolien sind:

• 75 x 30 mm²

• 63 x 23 mm²

• runde Folien mit Flat / ohne Flat und einem Durchmesser von 80 mm²

• kleinst mögliche Foliengröße: 59 x 19 mm²

Einschränkungen

Der Roboter wird ausschließlich für ein PMMA-Klebstoffgemisch verwendet.

Eingewiesene Nutzer

Hübner, Birgit

Wolf, Julia