Zeit-Drucksteuergerät

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Gerätebezeichnung: Zeit- und Drucksteuergerät des Resistklebeplatzes

Geräteverantwortliche/Operateure: Birgit Hübner

Standort: Bau 307 Raum 132c

Prüfmittel/Fertigungsnummer: RS 0275 - RS 0278 und RS 0295 - RS 0297

Spezifikations-Nummer: SP-XXXX

Kurzbeschreibung

Es handelt sich um 7 Einzel - Waferpressen.

Spezifikationen des Geräts

Die Pressen können auf einen Druck bis max. 6 bar eingestellt werden.

Es kann eine Endzeit eingegeben werden, bei welcher der Druck wieder gelöst wird.

Etablierte Prozesse

Pressen von verklebten :

• 4", 6" - Si-Wafern

• 4" - Keramikwafern

• 4" - Glaswafern

• Formeinsätzen

Eingewiesene Nutzer

Hübner, Birgit

Wolf, Julia