Zeit-Drucksteuergerät
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Gerätebezeichnung: Zeit- und Drucksteuergerät des Resistklebeplatzes
Geräteverantwortliche/Operateure: Birgit Hübner
Standort: Bau 307 Raum 132c
Prüfmittel/Fertigungsnummer: RS 0275 - RS 0278 und RS 0295 - RS 0297
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Es handelt sich um 7 Einzel - Waferpressen.
Spezifikationen des Geräts
Die Pressen können auf einen Druck bis max. 6 bar eingestellt werden.
Es kann eine Endzeit eingegeben werden, bei welcher der Druck wieder gelöst wird.
Etablierte Prozesse
Pressen von verklebten :
- 4", 6" - Si-Wafern
- 4" - Keramikwafern
- 4" - Glaswafern
- Formeinsätzen
