Category:Positivresist - positive resist: Difference between revisions

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[[Kategorie:Materialien - Materials]]
[[Kategorie:Herstellung - Fabrication]]
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Revision as of 15:51, 5 March 2014

English version

Positivresiste sind neben den Negativresisten eine Untergruppe der Resiste.

Bei Belichtung werden die Polymerketten aufgebrochen, der Resist wird löslich. Im folgenden Entwicklungsschritt werden so die belichteten Bereiche herausgelöst.

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Kategorie:Materialien - Materials Kategorie:Herstellung - Fabrication

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