Mr-X: Difference between revisions
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<!-- Hier kann ein Bild stehen, wenn sinnvoll[[Datei:Platzhalter.jpg|thumb|500x250px|rechts|Material]]--> |
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<!-- Tabelle mit für das jeweilige Material sinnvollen wichtigen Parametern füllen |
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{| border="1" align="right" style="background-color:#ffffcc;" |
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!Eigenschaft |
!Eigenschaft |
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|Dichte |
|Dichte |
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|kg/l |
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|Feststoffgehalt |
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|Bauschkraft |
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|Brechzahl |
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|Landé-Faktor |
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== Hier Materialnamen einsetzen == |
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Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst |
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hochgeladen werden. |
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Dies ermöglicht die Seitenleiste "werkzeuge -> Datei hochladen". |
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Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre <100kB und z.B. 120×160px |
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- Kurze Beschreibung, z.B. Photoresist, Formgedächtnispolymer/legierung, Lösungsmittel ... |
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- Besonderheiten |
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== mr-X == |
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== Eigenschaften == |
== Eigenschaften == |
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=== Verfügbarkeit === |
=== Verfügbarkeit === |
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* mr-X10: Schichtdicken bis ca. 40 µm |
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* mr-X50: Schichtdicken bis ca. 300 µm |
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=== Geräte === |
=== Geräte === |
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*für die Belackung: |
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**[[Spincoater]] |
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*für die Röntgenlithografie: |
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**[[Jenoptic-Scanner, Fa. Jenoptik (Litho 1)|Litho 1]] |
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**[[Jenoptic-Scanner, Fa. Jenoptik (Litho 2), Litho 2]] |
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**[[Jenoptic-Scanner, Fa. Jenoptik (Litho 3)|Litho 3]] |
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*für die Galvanik: |
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**[[Kupfergalvanikbad]] |
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=== Prozesse === |
=== Prozesse === |
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=== Ansprechpartner === |
=== Ansprechpartner === |
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* [[Benutzer:Danays.Kunka|Danays Kunka]] |
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* [[Benutzer:Frieder.Koch|Frieder Koch]] |
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* [[Benutzer:Alexandra.Karbacher|Alexandra Karbacher]] |
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* [[Benutzer:Pascal.Meyer|Pascal Meyer]] |
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* [[Benutzer:Jan.Meiser|Jan Meiser]] |
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* [[Benutzer:Felix.Marschall|Felix Marschall]] |
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* [[Benutzer:Heike.Fornasier|Heike Fornasier]] |
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=== Alternativen === |
=== Alternativen === |
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<!-- z.B. Geräteveratwortlicher etc. falls nicht zutreffend, bitte |
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Überschrift entfernen --> |
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<!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere |
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Wunschthemen --> |
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<!-- Weitere Kategorien: FuEX, --> |
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=Alternativen= |
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* [[SU-8]] |
* [[SU-8]] |
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[[Kategorie:Negativresist - negative resist]] |
[[Kategorie:Negativresist - negative resist]] |
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Revision as of 16:05, 5 March 2014
| Eigenschaft | Wert |
|---|---|
| Dichte | kg/l |
| Feststoffgehalt | % |
| Brechzahl |
mr-X
mr-X' (vorher: mr-L) ist ein Negativresist.
Eigenschaften
- z.B. Chemische Zusammensetzung, wie liegt es üblicherweise vor, evtl. Preis, kurz- alles was euch sinnvoll und wichtig erscheint, auch mit Unterüberschriften
Gefahreneinstufung
Am IMT
Verfügbarkeit
- mr-X10: Schichtdicken bis ca. 40 µm
- mr-X50: Schichtdicken bis ca. 300 µm
Geräte
- für die Belackung:
- für die Röntgenlithografie:
- für die Galvanik:
Prozesse
- Röntgengitter
- Röntgenlinsen
Ansprechpartner
- Danays Kunka
- Frieder Koch
- Alexandra Karbacher
- Pascal Meyer
- Jan Meiser
- Felix Marschall
- Heike Fornasier
Alternativen
Kategorie:Negativresist - negative resist Kategorie:Materialien - Materials
