SU-8: Difference between revisions
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<!-- Hier kann ein Bild stehen, wenn sinnvoll[[Datei:Platzhalter.jpg|thumb|500x250px|rechts|Material]]--> |
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<!-- Tabelle mit für das jeweilige Material sinnvollen wichtigen Parametern füllen |
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{| border="1" align="right" style="background-color:#ffffcc;" |
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!Eigenschaft |
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!Wert |
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|Dichte |
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|70 kg/l |
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|Bauschkraft |
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|900 cuin |
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|- |
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|Landé-Faktor |
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|42 |
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|} |
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== Hier Materialnamen einsetzen == |
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Falls ein Bild angezeigt werden soll, muss die entsprechende Datei erst |
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hochgeladen werden. |
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Dies ermöglicht die Seitenleiste "werkzeuge -> Datei hochladen". |
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Bitte achtet auf Datei- und Bildgröße, ideal wäre <100kB und z.B. 120×160px |
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- Kurze Beschreibung, z.B. Photoresist, Formgedächtnispolymer/legierung, Lösungsmittel ... |
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- Besonderheiten |
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== Eigenschaften == |
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- z.B. Chemische Zusammensetzung, wie liegt es üblicherweise vor, evtl. Preis, kurz- alles was euch sinnvoll und wichtig erscheint, auch mit Unterüberschriften |
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=== Gefahreneinstufung === |
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== Am IMT == |
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=== Verfügbarkeit === |
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=== Geräte === |
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=== Prozesse === |
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=== Ansprechpartner === |
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=== Alternativen === |
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<!-- z.B. Geräteveratwortlicher etc. falls nicht zutreffend, bitte |
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Überschrift entfernen --> |
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<!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere |
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Wunschthemen --> |
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<!-- Weitere Kategorien: FuEX, --> |
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[[Kategorie:Materialien - Materials]] |
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'''SU-8''' ist ein [[:Kategorie:Negativresist - negative resist|Negativresist]]. |
'''SU-8''' ist ein [[:Kategorie:Negativresist - negative resist|Negativresist]]. |
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Revision as of 16:16, 5 March 2014
Hier Materialnamen einsetzen
- Kurze Beschreibung, z.B. Photoresist, Formgedächtnispolymer/legierung, Lösungsmittel ...
- Besonderheiten
Eigenschaften
- z.B. Chemische Zusammensetzung, wie liegt es üblicherweise vor, evtl. Preis, kurz- alles was euch sinnvoll und wichtig erscheint, auch mit Unterüberschriften
Gefahreneinstufung
Am IMT
Verfügbarkeit
Geräte
Prozesse
Ansprechpartner
Alternativen
Kategorie:Materialien - Materials SU-8 ist ein Negativresist.
Verwendung
Alternativen
- mr-X: Weiterentwicklung der Fa. micro resist technology zur Herstellung hoher Aspektverhältnisse.
