Karlsruhe Nano Micro Facility: Difference between revisions
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Die [http://knmf.fzk.de Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)] ist eine Plattform zur Charakterisierung und Strukturierung einer Vielzahl funktioneller Materialien auf Mikro- und Nanoebene. |
Die [http://knmf.fzk.de Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)] ist eine Plattform zur Charakterisierung und Strukturierung einer Vielzahl funktioneller Materialien auf Mikro- und Nanoebene. |
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== KNMF-Geräte am IMT == |
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*[[E-Beam]] |
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*[[ANKA Litho1 - 3]] für die [[Röntgentiefenlithographie]] |
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*[[RIBE/RIE-Anlage]] |
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*[[Laserschreiber]] |
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*[[Heißprägen]] |
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[[Kategorie: KNMF]] |
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Revision as of 12:27, 24 March 2013
Die Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) ist eine Plattform zur Charakterisierung und Strukturierung einer Vielzahl funktioneller Materialien auf Mikro- und Nanoebene.
