User:Stefan.Hengsbach

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Stefan Hengsbach

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Fachereich: MF

Aufgabengebiet:

Raum: 260

Telefon: 24441

e-mail: stefan.hengsbach@kit.edu

Stellvertreter:

Tätigkeitsbeschreibung

Ich bin am IMT der Ansprechpartner für die laserlithographien Anlagen, sprich den Laserschreiber und die Nanoscribe-Anlage. Das bedeutet, dass ich Sie bei Fragen zu der Anlage (die Funktionsweise, was ist machbar, was wurde schon gemacht usw.) beraten und bei der Herstellung Ihrer Proben unterstützen kann. Darüberhinaus bearbeite ich auch Projekte, die besagten Anlagen betreffend, die von externen Partnern kommen, also aus dem KIT oder über die KNMF.

Fertigkeiten/Kenntnisse

Ich habe u.A. eine Ausbildung zum Elektroniker/Elektriker( ja, beides) gemacht und vieles von dem Wissen ist noch nicht verloren gegangen.

Geräte

• Nanoscribe PhotonicProfessional
• Heidelberg Instruments DWL66fs

Prozesse im Reinraum

prinzipel kenne ich alles Prozesse die vor oder nach der Prozessierung in meinen Anlagen kommen, allerdings macht es in den meisten Fällen mehr Sinn wenn die Prozesse von den Leuten durchgeführt werden die sich damit besser auskennen und vor allem die Erfahrung haben!

Aber wenn es sein muss (und wo ich eingewiesen bin): O2 Plasma (4Tek, Oxford80), O2+CL4 Plasma (R3T), spincoaten (Priumus), Entwicklungen (Su-8 & Az-Lacke)

Software

Matlab, SolidWorks (bzw. CAD allgemein), C++, LabView, Layouteditor

PVA für IMT-Projekte

• 13-066P-00B Additive nanomanufacture of 3D auxetic metamaterials