SU-8: Difference between revisions
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Latest revision as of 19:12, 19 November 2016
| Eigenschaft | Wert |
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| Dichte | |
SU-8
SU-8 ist ein Negativresist.
Eigenschaften
SU-8 besteht aus einem Epoxidharz, Lösungmittel und Photoinitiator. Durch Belichtung und Post-bake ensteht ein hochvernetzter Duroplast.
Das verwendete Harz basiert auf Bisphenol-A.
Gefahreneinstufung
Am IMT
Verfügbarkeit
Geräte
Prozesse
Ansprechpartner
Alternativen
- mr-X: Weiterentwicklung der Fa. micro resist technology zur Herstellung hoher Aspektverhältnisse.
Links
Umfangreiche Zusammenstellung der Eigenschaften von SU-8: MEMScyclopedia SU-8
