Reinraum - Cleanroom
Die Reinräume des IMT Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Diese Räume sind dem Funktionsbereich Mikrofertigung (MF) zugeordnet. Unter anderem befindet sich hier die E-Beam-Lithografie, UV-Lithografie in verschiedenen Varianten, wie z.B. Direct Laser Writing, ein Mask Aligner von EVG und zwei NANOSCRIBE Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spin Coater, Entwickler und diverse Plasmaätzanlagen.
Der IMT-Reinraum kann nur mit Genehmigung von MF selbstständig genutzt werden. Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx. Mitarbeiter mit einer allgemeinen Sicherheitsunterweisung dürfen den Reinraum in Begleitung eines Mitarbeiters mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum benutzen oder andere Tätigkeiten ausführen. Wer umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum vornehmen will, muss dies mit einem Formular FB516.xx beim Gruppenleiter der Fertigungsausführung beantragen.
