Reinraum - Cleanroom
Die Reinräume des IMT
Der zentrale Reinraum des IMT hat eine Fläche von ca. 600 m². Die Reinraumklasse erfüllt die ISO 7 der EN ISO 14644 (teilweise bis ISO 2). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich Core Technologies (CTE) - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien Uwe Köhler. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein Mask Aligner von EVG und zwei NANOSCRIBE Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.
Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx (siehe auch Reinraumregeln). Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum in Begleitung eines Mitarbeiters mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.
Selbstständig kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen Uwe Köhler. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der Einarbeitungszeit kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden.
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