User:Jan.Meiser

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Jan Meiser2

Funktionsbereich: F&E1 - Röntgenoptik

Aufgabengebiet: Röntgengitter

Bau: 307

Raum: 223

Telefon: 0721-608-22767

e-mail: mailto:jan.meiser@kit.edu

Stellvertreter:

• Meyer, Pascal
• Kunka, Danays
• Amberger, Maximilian

Tätigkeitsbeschreibung

Vergrößerung der Fläche von Mikrogittern für die Röntgen-Phasenkontrasttomographie.

Fertigkeiten/Kenntnisse

Geräte

• 4TEC-Plasmaätzer
• ANKA LIGA 1
• ANKA LIGA 2
• Hotplatebox (Horst)
• Hotplate (OPTIhot SHT20)
• Laserbeschriftungsgerät
• RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus
• Rasterelektronenmikroskop JSM-6600
• Spincoater Primus STT15

Prozesse

• Direkt-LIGA

Software

• DoseSim
• Microsoft Excel

Materialien

• mr-X
• Silizium
  • 4"-Wafer 525 µm
  • 4"-Wafer 200 µm
  • 4"-Wafer 100 µm
• Titan
  • 50 µm Bleche
• Klebefolien

PVA für IMT-Projekte

• 09-813P: PHACT
• 11-984P: Großflächige Röntgengitter
• 11-979P
• 12-032P
• 12-037P
• 12-043P

Weitere Aufgaben am IMT

• Wiki-Admin