DoseSim
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Programm zur Berechnung der Bestrahlungsparameter für die Strukturierung von Fotoresisten am Synchrotron. Das Programm wurde am IMT entwickelt. Die Nutzungserlaubnis erteilt der Autor.
Autor: Pascal Meyer
Aktuelle Version: 4.0.5b
Verfügbare Spektren:
- ANKA LIGA 1-3
- BESSY II
- SOLEIL
