4W-CryoVac
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Gerätebezeichnung: 4W-CryoVac
Geräteverantwortliche/Operateure: Gültig, Marcel
Standort: B301, R212
Prüfmittel-/Fertigungsmittelnummer: XXXX
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Vakuumanlage zur Messung des Widerstandes in Abhängigkeit der Temperatur. Genauer: Die Probe wird mittels spezieller Messköpfe kontaktiert. Die Messköpfe bestehen aus je vier gespannten Kupferstäben (4-Punkt-Messung), deren Durchmesser sowie Abstand von Kopf zu Kopf variiert um verschiedenen Probengeometrien abzudecken. Durch aktive Kühlung mit flüssigen Stickstoff der mittels einer Pumpe durch die Anlage befördert wird sind Temperature <-150°C möglich; die Maximaltemperatur liegt etwa bei +300°C.
Alternativen
Einschränkungen
Kontaktschwierigkeiten bei sehr dünnen Proben (<500nm Schichtdicke)
Eingewiesene Nutzer
Gültig, Marcel Ossmer, Hinnerk Lambrecht, Franziska