SU-8
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Hier Materialnamen einsetzen
- Kurze Beschreibung, z.B. Photoresist, Formgedächtnispolymer/legierung, Lösungsmittel ...
- Besonderheiten
Eigenschaften
- z.B. Chemische Zusammensetzung, wie liegt es üblicherweise vor, evtl. Preis, kurz- alles was euch sinnvoll und wichtig erscheint, auch mit Unterüberschriften
Gefahreneinstufung
Am IMT
Verfügbarkeit
Geräte
Prozesse
Ansprechpartner
Alternativen
Kategorie:Materialien - Materials SU-8 ist ein Negativresist.
Verwendung
Alternativen
- mr-X: Weiterentwicklung der Fa. micro resist technology zur Herstellung hoher Aspektverhältnisse.
