Karlsruhe Nano Micro Facility

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Die Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) ist eine Plattform zur Charakterisierung und Strukturierung einer Vielzahl funktioneller Materialien auf Mikro- und Nanoebene.

KNMF-Geräte am IMT

E-Beam
ANKA Litho1 - 3 für die Röntgentiefenlithographie
RIBE/RIE-Anlage
Laserschreiber
Heißprägen

Kategorie: KNMF

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