Karlsruhe Nano Micro Facility

English Version

Die Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) ist eine Plattform zur Charakterisierung und Strukturierung einer Vielzahl funktioneller Materialien auf Mikro- und Nanoebene.

Folgende Geräte und Technologien des KIT gehören zur KNMF: Liste der Geräte und Technolgien

KNMF-Geräte am IMT

• E-Beam
• ANKA Litho1 - 3 für die Röntgentiefenlithographie
• RIBE/RIE-Anlage
• Laserschreiber
• Heißprägen

Links

Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)