Karlsruhe Nano Micro Facility

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Die Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) ist eine Plattform, die Standardtechnolgien für die Charakterisierung und Strukturierung im Mikro- und Nanomaßstab zur Verfügung stellt.

Zielgruppen sind Partner aus Industrie und Forschung, die Anträge für Forschungsvorhaben einreichen können. Die Anträge werden von einem Komitee bewertet und

Folgende Geräte und Technologien des KIT gehören zur KNMF: Liste der Geräte und Technolgien

KNMF-Geräte am IMT

• E-Beam
• ANKA Litho1 - 3 für die Röntgentiefenlithographie
• RIBE/RIE-Anlage
• Laserschreiber
• Heißprägen

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Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)