Karlsruhe Nano Micro Facility

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Die Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) ist eine Plattform, die Standardtechnolgien für die Charakterisierung und Strukturierung im Mikro- und Nanomaßstab zur Verfügung stellt.

• Zielgruppen: Partner aus Industrie und Forschung
• Ablauf: Einreichen von Anträgen für Forschungsvorhaben
• Deadlines:
• Weiterer Ablauf:
  • Bewertung der Anträge durch ein Komitee: Entscheidung, ob Anfrage bearbeitet wird

Folgende Geräte und Technologien des KIT gehören zur KNMF: Liste der Geräte und Technolgien

KNMF-Geräte am IMT

• E-Beam
• ANKA Litho1 - 3 für die Röntgentiefenlithographie
• RIBE/RIE-Anlage
• Laserschreiber
• Heißprägen

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Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)