DoseSim

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Programm zur Berechnung der Bestrahlungsparameter für die Strukturierung von Fotoresisten am Synchrotron. Das Programm wurde am IMT entwickelt. Die Nutzungserlaubnis erteilt der Autor.

Autor: Pascal Meyer

Aktuelle Version: 4.0.5b

Verfügbare Spektren:

  • ANKA LIGA 1-3
  • BESSY II
  • SOLEIL

Kategorie:Software

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