User:Christian.Lay

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Vorname Nachname

Fachbereich: FuE4 - Nanoaktorik und Sensorik

Aufgabengebiet: Entwicklung eines magnetischen Nanoaktor-Sensor-Systems

Raum: B307 R229

Telefon: 24684

e-mail: c.lay@kit.edu

Stellvertreter:

Tätigkeitsbeschreibung

Herstellung und Charakterisierung von Nano-Bimorph Aktoren aus Silizium und Formgedächtnislegierungen sowie Entwicklung eines integrierten Sensorkonzepts zur Auslenkungsdetektion.

Fertigkeiten/Kenntnisse

Geräte

• RIE/RIBE_Oxford_PlasmaLab_100
• Rasterelektronenmikroskop_SUPRA_60_VP
• Kleindiek Nanomanipulator
• Westbond Wedge-Wedge Bonder
• Dimension_Icon_Rasterkraftmikroskop
• Scanning_Probe_Microscope_D3100S

Prozesse

• RIE: Silizium Cryo-Prozess
• RIE: Isotropes Unterätzen
• Kleindiek Nanomanipultor: Kraft+Widerstandsmessungen

Software

• Octave/Matlab
• Labview

Materialien

• Silizium
• Titan
• NiMnGa Formgedächtnismaterial
• AZ1505 Photoresist
• AZ4533 Photoresist

Weitere Aufgaben am IMT

• Wiki-Admin

Kategorie:Doktoranden - PhD Students Kategorie:FuE4 Kategorie:Mitarbeiter - Employees