4-TEC Plasmaätzer
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Gerätebezeichnung: XXXXXXXX
Geräteverantwortliche/Operateure: Köhler
Standort: XXXX
Prüfmittel/Fertigungsnummer: XXXX
Spezifikations-Nummer: SP-XXXX
Kurzbeschreibung
Plasmaverascher, ca. 20 nm/min PMMA-Abtrag
Alternativen
Gibt es andere Geräte, die gleiche oder ähnliche Funktion haben/Prozesse durchführen können? Bitte hier benennen und verlinken. Den korrekten Namen der Wiki-Seite des zu verlinkenden Geräts findet sich in der Prüfmittel Liste oder der Liste der Fertigungsmittel.
Spezifikationen des Geräts
Prozessgase: O2, N2
(Zusätzliche) Ausstattung und Funktionen, z.B. Prozessgase, Wellenlängen, Auflösung, Strukturdimensionen
Etablierte Prozesse
- Reinigung von Substraten
- Strippen von Resist (PMMA)
Welche Prozesse wurden erfolgreich mit diesem Gerät durchgeführt, welche Materialien wurden mit dem Gerät strukturiert, geprüft, verarbeitet? Bitte keine Prozessparameter und sensible Details in die Wiki eintragen, stattdessen Hinweise, wo man diese finden oder erfragen kann (z.B. Pfad zu Dokument im J: Laufwerk).
Einschränkungen
Nicht über Nacht die Gase anlassen!! Falls man das Gerät mal programmieren muss (HF-Einheit), dann kann man Köhnle, Kira kontaktieren.
Welche Prozesse lassen sich mit dem Gerät nicht durchführen oder würden die Funktion des Gerätes beeinträchtigen?
Eingewiesene Nutzer
Personen bitte immer mit Nachname, Vorname verknüpfen.
