Chrommasken - Chromium mask

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Anbieter für Chrommasken:

• DeltaMask: http://www.deltamask.nl/frames.html
  nur bis 5 Zoll Masken
  sehr schnelle Lieferung
• MLC Jena: http://www.mlc-jena.de/mlcweb/render.php?callname=home
  auch für größere Masken

Dateiformate

Die Hersteller akzeptieren in den meisten Fällen entweder *.gds oder *.dxf Dateiformate. Für das *.gds Format gibt es das Programm "Layout Editor". Für das *.dxf Dateiformat kann die Software Autocad der Firma Autodesk verwendet werden (erhältlich bei Ulrich Klein).

Falls Strukturen geschrieben werden sollen, die mit einem der Programme nur schwer herstellbar sind (Bsp.: viele kleine Strukturen, mit abnehmenden oder zunehmenden Größen) können die Dateien auch direkt mit einem Skript geschrieben werden.

• Matlab: Datei:Fig2gds.7z: liest ein Punktearray und erzeugt daraus eine *.gds Datei (Autor: Harald Vogt). Dieses Skript unterstützt alle im *.gds Format unterstützten Struktutypen (Rectangles, Polygons,...). Das Skript erzeugt zunächst eine txt-Datei die die Daten für die Strukturen im lesbaren GDS-Text Format enthält (fig2gdt.m). Dieses wird dann in einem zweiten Schritt in sein binäres Äquivalent übertragen (fig2gds.m). Einfach im Skript main.m die Beispiele in den Kommentaren anschauen. Falls das Skript etwas nicht so tut wie man möchte gibt es hier eine ausführliche Dokumentation des Dateiformates.