Resistlabor: Difference between revisions
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Das Resistlabor ist ein Teil des IMT - Reinraums der Klasse ISO 7(nach DIN EN ISO 14644). |
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Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Diese Räume sind dem Funktionsbereich [[Mikrofertigung (MF)]] zugeordnet. Unter anderem befindet sich hier die E-Beam-Lithografie, UV-Lithografie in verschiedenen Varianten, wie z.B. Direct Laser Writing, ein Mask Aligner von EVG und zwei NANOSCRIBE Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spin Coater, Entwickler und diverse Plasmaätzanlagen. |
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Dieser Raum ist dem Funktionsbereich [[Core Technologies (CTE)]] zugeordnet. |
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Hier befindet sich unter anderem der [[Kleberoboter]], die [[Nassprozessanlage]] zum Entwickeln, sowie die [[Gefriertrocknungsanlage]] mit Cyclohexan. |
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Das IMT-Resistlabor kann nur mit Genehmigung von CTE selbstständig genutzt werden. [[Reinraum - Cleanroom|IMT-Reinraum]] |
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Der IMT-Reinraum kann nur mit Genehmigung von MF selbstständig genutzt werden. Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx. Mitarbeiter mit einer allgemeinen Sicherheitsunterweisung dürfen den Reinraum in Begleitung eines Mitarbeiters mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen oder andere Tätigkeiten wie REM-Inspektionen oder sonstige Messungen ausführen. Wer umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum vornehmen will, muss dies mit einem Formular FB516.xx beim Gruppenleiter der Fertigungsausführung beantragen. Dieser Antrag muss eine Begründung für den selbstständigen Reinraumzutritt, die Projektnummer der geplanten Arbeiten und eine Abschätzung der wöchentlichen Arbeitszeit beinhalten und vom FBL des Antragstellers gegengezeichnet sein. Wer nur bis zu 3 Monaten am IMT tätig ist, bekommt in der Regel keinen selbstständigen Zugang, alle anderen benötigen eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit. |
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Latest revision as of 16:43, 19 November 2016
Das Resistlabor des IMT
Das Resistlabor ist ein Teil des IMT - Reinraums der Klasse ISO 7(nach DIN EN ISO 14644). Dieser Raum ist dem Funktionsbereich Core Technologies (CTE) zugeordnet. Hier befindet sich unter anderem der Kleberoboter, die Nassprozessanlage zum Entwickeln, sowie die Gefriertrocknungsanlage mit Cyclohexan.
Das IMT-Resistlabor kann nur mit Genehmigung von CTE selbstständig genutzt werden. IMT-Reinraum
