Reinraum - Cleanroom: Difference between revisions

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'''Die Reinräume des IMT'''
'''Die Reinräume des IMT'''


Das IMT verfügt über ca. 500Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[Benutzer:Uwe.Koehler|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.
Der zentrale Reinraum des IMT hat eine Fläche von ca. 600. Die Reinraumklasse erfüllt die ISO 7 der EN ISO 14644 (teilweise bis ISO 2). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[User:Uwe.Koehler|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.


Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.
Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung [[AA505_Reinraumregeln|AA505.xx]] [[Reinraumregeln|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.


'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, muss die entsprechende Zutrittsberechtigung mit einem Formular FB516.xx bei [[Benutzer:Uwe.Koehler|Uwe Köhler]] beantragen. Im Antrag wird unter anderem nach einer Beschreibung und nach der Projektnummer der geplanten Arbeiten im Reinraum gefragt und das Formular vom Betreuer des Antragstellers mit unterschrieben. Eine weitere Vorraussetzung für den selbstständigen Reinraumzutritt ist eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit. Danach wird der KIT-Werksausweis für das Öffnen der Türen zum Reinraum kodiert. Wer nur bis zu 3 Monate am IMT tätig ist erhält in der Regel keinen selbstständigen Zugang zum Reinraum.
'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen [[User:Uwe.Koehler|Uwe Köhler]]. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der Einarbeitungszeit kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden.




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[[Category:Reinraum]]

[[Category:Core Technologies (CTE)]]

[[Category:Infrastruktur]]

















[[Kategorie: Infrastruktur]]

Latest revision as of 16:12, 16 February 2018

English version

Die Reinräume des IMT

Der zentrale Reinraum des IMT hat eine Fläche von ca. 600 m². Die Reinraumklasse erfüllt die ISO 7 der EN ISO 14644 (teilweise bis ISO 2). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich Core Technologies (CTE) - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien Uwe Köhler. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein Mask Aligner von EVG und zwei NANOSCRIBE Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.

Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx (siehe auch Reinraumregeln). Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum in Begleitung eines Mitarbeiters mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.

Selbstständig kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, wendet sich an den Reinraumverantwortlichen Uwe Köhler. In einem KickOff Meeting zusammen mit dem Reinraumteam, stellt der neue Nutzer seine Arbeit und seine Ansprüche an die Infrastruktur und das Team vor. Im Formular FB527.xx wird ein Mentor bestimmt, der die Einarbeitung überwacht und es werden die nötigen Einweisungen besprochen. Nach der Einarbeitungszeit kann der KIT-Werksausweis mit einer Laufzeit von bis zu 3 Monaten kodiert werden.


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