User:Christin.Straus: Difference between revisions
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Revision as of 15:55, 17 May 2013
Christin Straus
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Fachbereich: MF (Mikrofertigung)
Aufgabengebiet: Goldgalvanik, (i.V. Nickelgalvanik, verschiedene Ätzarbeiten
Raum: Bau 307 Raum 125
Telefon: 072160824429
e-mail: christin.straus@kit.edu
Stellvertreter: Barbara Matthis
Tätigkeitsbeschreibung
Zuständig für
- die Galdgalvanik und vertretungsweise Nickelgalvanik
- verschiedene Ätzprozesse wie Kupfer-, Titan- und Invarätzen
- die Oxidation von Wafern und Kupfergrundplatten
- für die Ordnung im Reinraum und das Auffüllen von Verbrauchs- und Arbeitsmaterialien
Fertigkeiten/Kenntnisse
Geräte
- Oxidationsanlage
- Goldgalvanikbäder
- RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus, Fa. Oxford
- Laserbeschriftungsgerät
- Galvanikbad HEGA I+III+IV
- Vakuumöfen
- 4-TEC Plasmaätzer
- Maskenreiniger HMR 900
- Goldgalvanikbad (FMK, WA wie GA 0220)
- Lackentferner STP 2020
- Sprühentwickler ST30 (anorganisch)
- OPT - Trockenätzanlage (RIE/ICP, RIBE)
- Oberflächenmessgerät TENCOR P 2
- Messmikroskop ERGOLUX
- pH-Messgerät
- Analysenwaage ED224S