User:Christin.Straus

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Christin Straus

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Fachbereich: MF (Mikrofertigung)

Aufgabengebiet: Goldgalvanik, (i.V. Nickelgalvanik, verschiedene Ätzarbeiten

Raum: Bau 307 Raum 125

Telefon: 072160824429

e-mail: christin.straus@kit.edu

Stellvertreter: Barbara Matthis

Tätigkeitsbeschreibung

Zuständig für

• die Goldgalvanik und vertretungsweise Nickelgalvanik
• verschiedene Ätzprozesse wie Kupfer-, Titan-, Invar- und SU8 ätzen
• die Oxidation von Wafern und Kupfergrundplatten
• Plasma-Reinigungsschritte (4Tec; RIE/RIBE)
• die Urlaubsvertretung im nasschemischen Entwickeln
• Wafervorbereitung für gebogene Gitter
• für die Ordnung im Reinraum und das Auffüllen von Verbrauchs- und Arbeitsmaterialien

Fertigkeiten/Kenntnisse

Geräte

• Oxidationsanlage
• Goldgalvanikbäder
• RIE-Anlage, Plasmalab 80 Plus, Fa. Oxford
• Laserbeschriftungsgerät
• Galvanikbad HEGA I+III+IV
• Vakuumöfen
• 4-TEC Plasmaätzer
• Maskenreiniger HMR 900
• Goldgalvanikbad (FMK, WA wie GA 0220)
• Lackentferner STP 2020
• Sprühentwickler ST30 (anorganisch)
• OPT - Trockenätzanlage (RIE/ICP, RIBE)
• Oberflächenmessgerät TENCOR P 2
• Messmikroskop ERGOLUX
• pH-Messgerät
• Analysenwaage ED224S

Prozesse

• Oxidation
• Goldgalvanik von ZM´s und AM´s
• Plasmaätzen

Software

• Analysis (teilweise)