Category:Negativresist - negative resist: Difference between revisions
From IMT-Wiki
Jump to navigationJump to search
Jan.Meiser (talk | contribs) No edit summary |
No edit summary |
||
| Line 7: | Line 7: | ||
Diese Seite listet die am IMT verwendeten Negativresiste auf. |
Diese Seite listet die am IMT verwendeten Negativresiste auf. |
||
[[ |
[[Category:Materialien - Materials]] |
||
[[ |
[[Category:Herstellung - Fabrication]] |
||
Latest revision as of 19:12, 19 November 2016
Negativresiste sind neben den Positivresisten eine Untergruppe der Resiste.
Bei Belichtung setzt eine Vernetzung der Polymerketten ein, der Resist wird unlöslich. Im folgenden Entwicklungsschritt werden die unbelichteten Bereiche herausgelöst.
Diese Seite listet die am IMT verwendeten Negativresiste auf.
