Reinraum - Cleanroom: Difference between revisions
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Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). |
Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich [[Core Technologies (CTE)]] - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien [[Benutzer:Uwe.Koehler|Uwe Köhler]]. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein [[EVG_620_Double_Side_Mask_Aligner| Mask Aligner von EVG]] und zwei [[Nanoscribe PhotonicProfessional|NANOSCRIBE]] Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc. |
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Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx [[Reinraumregeln|(siehe auch Reinraumregeln)]]. Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum '''in Begleitung eines Mitarbeiters''' mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen. |
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'''Selbstständig''' kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, muss die entsprechende Zutrittsberechtigung mit einem Formular FB516.xx bei [[Benutzer:Uwe.Koehler|Uwe Köhler]] beantragen. Im Antrag wird unter anderem nach einer Beschreibung und nach der Projektnummer der geplanten Arbeiten im Reinraum gefragt und das Formular vom Betreuer des Antragstellers mit unterschrieben. Eine weitere Vorraussetzung für den selbstständigen Reinraumzutritt ist eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit. Danach wird der KIT-Werksausweis für das Öffnen der Türen zum Reinraum kodiert. Wer nur bis zu 3 Monate am IMT tätig ist erhält in der Regel keinen selbstständigen Zugang zum Reinraum. |
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Revision as of 15:45, 3 July 2015
Die Reinräume des IMT
Das IMT verfügt über ca. 500 m² Reinraumfläche der Klasse ISO 7 (nach DIN EN ISO 14644). Die Verantwortung für diese Räume hat der Bereich Core Technologies (CTE) - vor Ort vertreten durch den Gruppenleiter Mikrotechnologien Uwe Köhler. Unter anderem befinden sich hier die E-Beam-Lithografie, verschiedene Varianten der UV-Lithografie wie z.B. Direct Laser Writing, ein Mask Aligner von EVG und zwei NANOSCRIBE Geräte und die dazugehörige Infrastruktur wie Spincoater, Nassentwickler, diverse Plasmaätzanlagen etc.
Im Reinraum gilt die Arbeitsanweisung AA505.xx (siehe auch Reinraumregeln). Mitarbeiter, die bereits an einer Schulung "Allgemeine Sicherheitsunterweisung" teilgenommen haben, dürfen den Reinraum in Begleitung eines Mitarbeiters mit Zutrittsberechtigung betreten und unter Aufsicht oder zusammen mit einem berechtigten Mitarbeiter Anlagen im Reinraum nutzen.
Selbstständig kann der IMT-Reinraum nur nach Genehmigung durch CTE betreten und genutzt werden. Wer also umfangreiche Arbeiten selbstständig im Reinraum durchführen will, muss die entsprechende Zutrittsberechtigung mit einem Formular FB516.xx bei Uwe Köhler beantragen. Im Antrag wird unter anderem nach einer Beschreibung und nach der Projektnummer der geplanten Arbeiten im Reinraum gefragt und das Formular vom Betreuer des Antragstellers mit unterschrieben. Eine weitere Vorraussetzung für den selbstständigen Reinraumzutritt ist eine mindestens 4-wöchige Einarbeitungszeit. Danach wird der KIT-Werksausweis für das Öffnen der Türen zum Reinraum kodiert. Wer nur bis zu 3 Monate am IMT tätig ist erhält in der Regel keinen selbstständigen Zugang zum Reinraum.
