Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF: Difference between revisions

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Elektronenstrahlschreiber

Gerätebezeichnung: Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF

Standort: Bau 301 Räume 107.8 - 107.10

Fertigungmittelnummer: BS 0249

Spezifikations-Nummer: SP280310.00

Laser-Lithographie-Anlage: nur für Strukturen >1 µm geeignet. Verschiedene Resiste: mr-X, AZ

Beschleunigungsspannung: 100keV
theoretische Auflösung: 0,5nm (Achtung: das ist die minimale BeamStepSize - nicht kleinstes schreibbares Feature!)
kleinster Strahldurchmesser: 4nm

Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)

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