Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF: Difference between revisions
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Gerätebezeichnung: Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF
Geräteverantwortliche/Operateure: Jakobs, Peter, Bacher, Andreas / Nees, Marie-Kristin
Standort: Bau 301 Räume 107.8 - 107.10
Fertigungmittelnummer: BS 0249
Spezifikations-Nummer: SP280310.00
Kurzbeschreibung
Alternativen
- Laser-Lithographie-Anlage: nur für Strukturen >1 µm geeignet. Verschiedene Resiste: mr-X, AZ
Spezifikationen des Geräts
- Beschleunigungsspannung: 100keV
- theoretische Auflösung: 0,5nm (Achtung: das ist die minimale BeamStepSize - nicht kleinstes schreibbares Feature!)
- kleinster Strahldurchmesser: 4nm
Etablierte Prozesse
- Strukturierung von PMMA 950k in unterschiedlichen Schichtdicken (aktuell zwischen 30nm und 3,2µm)
Einschränkungen
- keine Substrate grösser 6"
