User:Marie-Kristin.Nees: Difference between revisions
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Revision as of 15:25, 17 May 2013
Marie-Kristin Nees
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Fachbereich: F&E 7
Aufgabengebiet: Ebeam Operator
Raum: 125
Bau: 307
Telefon: 0721 608 2 4429
e-mail: Marie-Kristin.Nees@kit.edu
Stellvertreter: Bacher, Andreas Jakobs, Peter-Jürgen
Tätigkeitsbeschreibung
- Substrat Vorbereitung (Spincoaten PMMA)
- EBeam - Bedienung
- Daten Prozessierung
- Erstellen von Pythonskripts
- Substrate Entwickeln (PMMA mit IPA:MIBK)
Fertigkeiten/Kenntnisse
Geräte
- Spincoater (OPTIcoat ST22+)
- Oxidationsanlage
- Elektronenstrahlschreiber VB6 UHR-EWF
- 4-TEC Plasmaätzer
- Maskenreiniger HMR 900
- EVG 620 Double Side Mask Aligner
- Hotplate (OPTIhot SHT20)
- Sprühentwickler ST30 (organisch)
Prozesse
- Spincoating von PMMA
- Zwischenmasken Prozessierung
