User:Birgit.Huebner: Difference between revisions
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Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden. |
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== Weitere Aufgaben am IMT == |
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<!-- z.B. Geräteveratwortlicher, Gremienzugehörigkeit, etc. falls nicht zutreffend, bitte Überschrift entfernen --> |
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<!-- Optionale Einträge wie Veröffentlichungen und Vorträge andere Wunschthemen --> |
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<!-- Weitere Kategorien: FuEX, --> |
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[[Kategorie:Mitarbeiter - Employees]] |
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Dazu muss man mir das dazugehörige Sicherheitsdatenblatt bitte per E-Mail schicken. |
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== Werdegang im IMT == |
== Werdegang im IMT == |
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Revision as of 10:40, 2 July 2013
Birgit Hübner
rahmenlos|links|Text der Bild-Legende
Funktionsbereich: Mikrofertigung
Aufgabengebiet: Resistlabor
Raum: 252
Telefon: 22601
e-mail: birgit.huebner2@kit.edu
Stellvertreter: Julia Wolf
Tätigkeitsbeschreibung
Mitarbeiterin der Mikrofertigung, Vertreterin von Frau Wolf (Julia.Wolf) im Resistlabor im Bereich Entwicklung.
- Aufbringen von PMMA-Resist-Folien (mit Hilfe des Kleberoboters JR 2400 / Foliendicke: 100µm - 3mm)
- Resistgießen auf Invar-Maskenblank und 4"-Wafer
- Vergießen von Formeinsätzen
- Sputtern von C-Schichten
- Gefriertrocknung mit Cyclohexan
- Oxidation
- Nasschemisches Entwickeln bestrahlter Resiste (vertretungsweise)
- KOH und Flusssäure-Ätzen im Ätzlabor
- Mitorganisation des Resistlabors
- Verwaltung der ChemA für den Reinraumbereich
Fertigkeiten/Kenntnisse
Ich bin Chemielaborantin und arbeite nur am Vormittag im IMT.
Weitere Aufgaben am IMT
Verwaltung der ChemA für den Reinraum (IMT-Reinraum).
Neue Chemikalien, die in den Reinraum eingebracht werden, müssen vorher bei mir mit dazugehörigem Sicherheitsdatenblatt angemeldet werden.
Geräte
- Resistkleberoboter Janome JR2400
- Oxidationsanlage
- Laserbeschriftungsgerät
- Vakuumöfen
- Oberflächenmessgerät TENCOR P 2
- Messmikroskop
- Analysenwaage ED224S
- Umluftofen UT 6050 LAF, Fa. Kendro
- Nassprozessanlage
- Ultraschallreinigungsgerät: Sonorex
Prozesse
- Resistkleben
- C-Sputtern
- Gefriertrocknung
- Oxidieren
- Entwickeln (Vertretung)
Software
- Maschinencode des Kleberoboters
- AnalySIS
- MS Office
Materialien
- PMMA
PVA für IMT-Projekte
Weitere Aufgaben am IMT
Kategorie:Mitarbeiter - Employees
