Category:Negativresist - negative resist: Difference between revisions
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Bei Belichtung setzt eine Vernetzung der Polymerketten ein, der Resist wird unlöslich. Im folgenden Entwicklungsschritt werden die unbelichteten Bereiche herausgelöst. |
Bei Belichtung setzt eine Vernetzung der Polymerketten ein, der Resist wird unlöslich. Im folgenden Entwicklungsschritt werden die unbelichteten Bereiche herausgelöst. |
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Revision as of 15:07, 5 March 2014
Negativresiste sind neben den Positivresiste eine Untergruppe der Resiste.
Bei Belichtung setzt eine Vernetzung der Polymerketten ein, der Resist wird unlöslich. Im folgenden Entwicklungsschritt werden die unbelichteten Bereiche herausgelöst.
Diese Seite listet die am IMT verwendeten Negativresiste auf.
