Category:Negativresist - negative resist: Difference between revisions
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Revision as of 15:51, 5 March 2014
Negativresiste sind neben den Positivresisten eine Untergruppe der Resiste.
Bei Belichtung setzt eine Vernetzung der Polymerketten ein, der Resist wird unlöslich. Im folgenden Entwicklungsschritt werden die unbelichteten Bereiche herausgelöst.
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Kategorie:Materialien - Materials Kategorie:Herstellung - Fabrication
