Strippen - stripping

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Strippen bezeichnet im Zusammenhang mit Fotoresisten das Entfernen des Fotoresists durch trocken-chemisches Ätzen.

Anlagen zum Strippen von Resist

• 4-TEC Plasmaätzer: Ätzgas Sauerstoff
• RIE/RIBE Oxford PlasmaLab 100: Ätzgas SF6
• Sentech: Ätzgase Sauerstoff, Argon; Nachfolger der RIE Plasmalab 80 Plus
• RIE Plasmalab 80 Plus: außer Betrieb, ersetzt durch Sentech; Ätzgase Sauerstoff, Argon