13-110

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Projekttitel: Gratings for high energy

PVA: Frieder Koch

PVA2:

Kunde: ESRF - Maite Ruiz

Kick-Off:

Abschluss-PB:

IMT Klassifizierung: review np

Zielvereinbarungsnr.:

KNMF-Nr.: 1577

Projektbeschreibung

Ziel ist/war es Gitter für ein Hochenergie-Phasenkontrast-Experiment an ID19 an der ESRF herzustellen. Bestellte Gitter:

1. Phasengitter für 150 keV, Phasenschub Pi/2, Periode 4,8 µm
2. Absorptionsgitter, Periode 4,8 µm, Goldhöhe > 200 µm

Die Phasengitter wurden an Litho 1 als Liniengitter ohne Verstärkungen hergestellt. Resisthöhe war 30 µm, Strukturen von sehr guter Qualität mit Gefriertrocknung und konventioneller Galvanik.

Es wurde ein Sonnenstrahl G2 an Litho 1 mit ca 110 µm Gold hergestellt, Qualität sehr gut. Große Probleme mit Strukturen in Größenordnung 200 µm an Litho 2 --> Wechsel auf Bridge-Maske von microworks Zwei Gitter mit 150 bzw 160 µm Goldhöhe hergestellt, Qualität in Ordnung.

Alle Gitter wurden in einer Strahlzeit im Juli 2014 an der ESRF, ID19, getestet, abschließende Bewertung folgt.

Verwendete Technologien

LIGA

Projektbeteiligte

Frieder Koch, Pascal Meyer, Maite Ruiz (ESRF)